晶圆搬运机器人 / 真空环境 (AR-300 系列)

AR-WV300 (双臂) / AR-SV300 (单臂) 晶圆尺寸 : ~300mm A & B - 轴 : 510mm / Φ 轴 : 330 deg. / Z 轴 : 50mm (单臂 20mm) 搬运重量(kg) : 1k...

AR-WV300 (双臂) / AR-SV300 (单臂)
晶圆尺寸 : ~300mm
A & B - : 510mm / Φ : 330 deg. / Z : 50mm (单臂 20mm)
搬运重量(kg) : 1kg (单臂 0.7kg)

型号

负载

玻璃尺寸

AR-WV300

4

0.7Kg

~300mm

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